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選型Busch干式螺桿真空泵COBRA BC 0600 F
瀏覽次數:1280發布日期:2022-01-05

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性能出色

的螺桿設計,鐘形懸臂結構,榮獲利的自平衡螺桿,出色的運行品質,集成羅茨泵,非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計量、平版印刷術、物理氣相沉積以及快速熱退火等應用

高效

擁有成本低,維護少,保養間隔長,正常運行時間長,直接水冷卻

結構緊湊

密閉式設計,直聯的罐裝電機

TECHNICAL DATACOBRA BC 0600 F
額定抽速520 m3/h
極限壓力0.003 hPa (mbar)
前級泵電機額定功率1.5 kW
羅茨真空泵電機額定功率4.0 kW
功耗(怠速模式)1.1 kW
極限壓力時的功耗2.1 kW
前級泵電機額定轉速3000 min?1
羅茨真空泵電機額定轉速3000 min?1
噪聲級(ISO 2151)62 dB(A)
耗水量3.0 l/min
氮氣消耗量0 – 50 l/min
重量(約)315 kg
尺寸(L x W x H)933 x 354 x 694 mm
進氣口DN 63 ISO–K
排氣口DN 40 ISO–KF

Busch電機7AA90S 04B14

Busch油分配器0531-000-002

Busch真空泵油過濾器0531000002

Busch.0524108652

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Busch真空泵RA0302 D 561 CUXX NO.C1126000551

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BUSCH油過濾器531000001