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APC200是GPC3000的升級(jí)版，壓力流量控制器基本為電容壓力計(jì)供電（±15VDC），接收并顯示來(lái)自電容壓力計(jì)的壓力信號(hào)，連接節(jié)流閥，通過(guò)PID或自整定功能控制壓力. 它是一個(gè)控制裝置。其中，如果使用自整定功能，則通過(guò)檢測(cè)流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數(shù)來(lái)獲取壓力控制因素。如果用戶(hù)使用此功能來(lái)控制壓力，可以更快地達(dá)到所需壓力。內(nèi)置兩個(gè)過(guò)程限位繼電器，幫助用戶(hù)設(shè)備過(guò)程。

• APC200 有一個(gè)PCB 卡，可以選擇至多連接4 個(gè)MFC，每個(gè)PCB 包含2 個(gè)通道（連接2 個(gè)MFC）。

• APC200 的設(shè)計(jì)非常方便且易于通過(guò)本地（前面板）、I/O 或 RS-232 / RS-485 遠(yuǎn)程控制。

• 壓力輸入信號(hào)：標(biāo)準(zhǔn)：0-10 VDC

• 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC，50/60 赫茲

• 控制器重復(fù)性：±0.1% FS

• 環(huán)境操作溫度：150℃ - 450℃

• 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培

• 模擬輸出信號(hào)：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門(mén)位置和 0-10 VDC 用于 1-100%，F(xiàn)S 壓力

• 尺寸：1/2-機(jī)架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D